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              技术服务Support

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              详细介绍

              真空度测量方式

              日期:2018-04-12 15:52
              测量方式
                
              定义
              热偶真空计 利用热电偶的电势与加热元件的温度有关,元件的温度又与气体的热传导有关的原理来测量真空度的真空计。
              电离真空计 由筒状收集极,栅网和位于栅网中心的灯丝构成,筒状收集极在栅网外面。热阴极发射电子电离气体分子,离子被收集极收集,根据收集的离子流大小来测量气体压强的真空计。
              复合真空计 由热偶真空计与热阴极电离真空计组成,测量范围从大气~10-5Pa。
              冷阴极电离计 阳极筒的两端有一对阴极板,在外加磁场作用,阳极筒内形成潘宁放电产生离子,根据阴极板收集的离子流的大小来测定气体压强的真空计。
              电阻真空计 利用加热元件的电阻与温度有关,元件的温度又与气体传导有关的原理,通过电桥电路来测量真空度的真空计。
              麦克劳真空计 也成为压缩式真空计yaboApp|官方平台入口,将待测的气体用汞(或油)压缩到一极小体积yaboApp|官方平台入口,然后比较开管和闭管的液柱差,利用玻义尔定律直接算出气体压强的一种绝对真空计yaboApp|官方平台入口。
              电容薄膜真空计 这是一种阴极与收集极倒置的热阴极电离规。收集极是一根细丝,放在栅网中心yaboApp|官方平台入口yaboApp|官方平台入口,灯丝放在栅网外面,因而减少软X射线影响yaboApp|官方平台入口,延伸测量下限,可测超高真空。电容薄膜真空计将三种不同的规管综合在个小型经济的规管中,测量过程压强和基本压强从5x10-10至1500毫巴。电容薄膜真空计由于具有测量精度高、动态响应快、测量结果与气体成分无关以及抗腐蚀、耐气压冲击等一系列优点yaboApp|官方平台入口,因而越来越受到人们的重视。以它取代水银压力计yaboApp|官方平台入口、油压计、电阻真空计、热偶真空计以至部分地取代电离计。
               

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