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              技术服务Support

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              详细介绍

              真空泵应用情况

              日期:2018-04-12 15:48
              液环泵 虽然液环泵属于粗真空泵,但在中国的石油yaboApp|官方平台入口、化工yaboApp|官方平台入口、电力、轻纺yaboApp|官方平台入口、造纸、医药等领域仍然有着很大的市场yaboApp|官方平台入口。在国外yaboApp|官方平台入口,液环泵的销售额占全部真空泵市场的14%,仅次于干泵,由于液环泵大部分是铸件,加工要求也不高,属劳动密集型产品yaboApp|官方平台入口yaboApp|官方平台入口,所以国产液环泵在价格上有竞争优势yaboApp|官方平台入口,关键是要改进设计,缩小体积,减轻重量,提高效率yaboApp|官方平台入口,降低能耗yaboApp|官方平台入口。
              液环泵工作原理液环泵工作原理
              滑阀泵 由于滑阀泵比较耐用、可靠yaboApp|官方平台入口,国内外各种真空炉、镀膜机以及干燥、浸渍等设备都是用滑阀泵作为前级泵yaboApp|官方平台入口,但是滑阀泵铸件重,加工工作量较大,所以国外各真空厂都在中国寻找合作伙伴。为了使国产滑阀泵能够进入国际市场,必须进一步降低泵的振动噪声,杜绝喷油和漏油,提高滑阀泵长期运行的可靠性。
              滑阀泵工作原理滑阀泵工作原理

                
              直联旋片泵 随着真空技术在各个应用领域的不断扩大,直联旋片泵的需求量越来越大。由于这种泵数量很多,加工装配工作量很大yaboApp|官方平台入口,价格又很低,所以有的国外真空厂商在中国建立专业厂。国产中小型直联旋片泵在技术上已经过关yaboApp|官方平台入口,价格又远比国外的泵便宜,所以国产泵仍然有竞争优势,关键是要解决轴封漏油以及旋片材料和真空泵油的性能质量问题yaboApp|官方平台入口,确保直联泵在高速、高温下性能稳定和运行可靠yaboApp|官方平台入口,同时还要进一步提高国产直联旋片泵抽除水蒸气的能力yaboApp|官方平台入口。
              旋片真空泵旋片真空泵
              罗茨泵
              从国外罗茨泵生产情况来看,国外几家大公司,如Leybold、Balzers、Alcatell、Edwards和ULVAC,他们各家罗茨泵的销售额占全球罗茨泵销售额的比例都没超过5%,这5家总计才20%,罗茨泵产量不大,但国外罗茨泵的价格远比国产泵要高得多。国内外几乎所有大型或小型的高真空和中真空系统,为了缩短抽气时间、提高生产效率都配有罗茨泵yaboApp|官方平台入口,所以国产罗茨泵一定要在占领国内市场基础上设法进入国际市场另外,还要考虑到有些国家和地区的电源频率为60Hz,更要确保罗茨泵在提高转速的情况下长期运行的可靠性。
              国内气冷式直排大气罗茨泵进展很快,技术上已经成熟。由于这种泵在排气口的下面装有气体冷却器,其中一部分被冷却的气体通过管道返回泵腔以冷却转子,从而使压缩热得到平衡,所以这种泵可以直排大气。为了满足不同极限真空度的要求,这种泵可以串联使用yaboApp|官方平台入口,一般前面加一台气冷式直排大气罗茨泵yaboApp|官方平台入口,所达到的极限真空要比前级泵高一个数量级。这种泵由于在泵腔内没有工作介质yaboApp|官方平台入口,实际上也是属于干泵。这种气冷式直排大气罗茨泵及机组已经在石油、化工、塑料、农药、汽轮机转子动平衡、航空航天空间模拟等装置上得到了长期运行的考验,所以应该在国内大力推广和应用。
              罗茨泵工作原理罗茨泵工作原理
              分子泵
              分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵,尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵yaboApp|官方平台入口。
              由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一yaboApp|官方平台入口yaboApp|官方平台入口,所以分子泵的排气时间比低温泵长yaboApp|官方平台入口。为了提高抽速,国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板,称之为低温分子泵,水蒸气被低温板捕获,其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用,既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展,分子泵应该是中国真空泵制造业发展的重点yaboApp|官方平台入口。首先,分子泵要从小到大建立完整系列,以满足不同场合的需要。

                
              干泵 国外干泵市场的不断增长,其主要驱动来自于半导体行业、化学工业、薄膜产业的迅速发展。在日本,半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵,欧美半导体行业45%以上用干式真空泵代替了油封式机械泵,大大提高了产品的性能和质量。为了满足不同应用领域和不同工况的要求,国外有多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、螺杆式真空泵、涡旋式真空泵、往复式活塞真空泵以及涡轮式无油真空泵等。极限压力从10Pa~10-2PayaboApp|官方平台入口,抽速从20m3/h~500m3/hyaboApp|官方平台入口。
                
              水环泵
              水环真空泵(简称水环泵)是一种粗真空泵yaboApp|官方平台入口,它所能获得的极限真空为2000~4000Pa,串联大气喷射器可达270~670PayaboApp|官方平台入口。水环泵也可用作压缩机yaboApp|官方平台入口,称为水环式压缩机,是属于低压的压缩机,其压力范围为1~2×105Pa表压力。
              水环泵最初用作自吸水泵,而后逐渐用于石油yaboApp|官方平台入口、化工、机械、矿山yaboApp|官方平台入口、轻工yaboApp|官方平台入口、医药及食品等许多工业部门。在工业生产的许多工艺过程中,如真空过滤yaboApp|官方平台入口、真空引水、真空送料yaboApp|官方平台入口、真空蒸发、真空浓缩、真空回潮和真空脱气等,水环泵得到广泛的应用yaboApp|官方平台入口。由于真空应用技术的飞跃发展yaboApp|官方平台入口,水环泵在粗真空获得方面一直被人们所重视。由于水环泵中气体压缩是等温的,故可抽除易燃yaboApp|官方平台入口、易爆的气体,此外还可抽除含尘、含水的气体,因此,水环泵应用日益增多。
              如图:在泵体中装有适量的水作为工作液。当叶轮按图中顺时针方向旋转时yaboApp|官方平台入口,水环的上部内表面刚好与叶片顶端接触(实际上叶片在水环内有一定的插入 深度)。此时叶轮轮毂与水环之间形成一个月牙形空间,而这一空间又被叶轮分成和叶片数目相等的若干个小腔。如果以叶轮的下部0°为起点,那么叶轮在旋转前180°时小腔的容积由小变大,且与端面上的吸气口相通,此时气体被吸入,当吸气终了时小腔则与吸气口隔绝;当叶轮继续旋转时,小腔由大变小,使气体被压缩;当小腔与排气口相通时yaboApp|官方平台入口,气体便被排出泵外。

                
              综上所述yaboApp|官方平台入口,水环泵是靠泵腔容积的变化来实现吸气、压缩和排气的,因此它属于变容式真空泵yaboApp|官方平台入口。
              水环泵和其它类型的机械真空泵相比有如下优点

              结构简单,制造精度要求不高,容易加工。
              结构紧凑,泵的转数较高,一般可与电动机直联,无须减速装置。故用小的结构尺寸,可以获得大的排气量yaboApp|官方平台入口,占地面积也小。
              压缩气体基本上是等温的,即压缩气体过程温度变化很小。
              由于泵腔内没有金属磨擦表面,无须对泵内进行润滑,而且磨损很小。转动件和固定件之间的密封可直接由水封来完成。
              吸气均匀,工作平稳可靠,操作简单,维修方便。
              水环泵也有其缺点:
              效率低,一般在30%左右,较好的可达50%yaboApp|官方平台入口。
              真空度低,这不仅是因为受到结构上的限制yaboApp|官方平台入口,更重要的是受工作液饱和蒸气压的限制。用水作工作液,极限压强只能达到2000~4000Pa。用油作工作液,可达130Pa。
              总之,由于水环泵中气体压缩是等温的,故可以抽除易燃、易爆的气体。由于没有排气阀及摩擦表面yaboApp|官方平台入口,故可以抽除带尘埃的气体、可凝性气体和气水混合物。有了这些突出的特点,尽管它效率低,仍然得到了广泛的应用。

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